特許
J-GLOBAL ID：200903090423329771
半導体処理装置におけるコントローラーの処理コマンド制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143813
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022302
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 従来技術の問題点であるコマンドの処理内容の固定化という問題を解決し、プログラムの変更をせずにコマンドの処理シーケンスを変更することができる「コマンド内容のプログラマブル化」を提供する。【構成】 半導体処理装置におけるコントローラーシステムのシーケンス制御装置において、1つのイベント内容を示すイベントデータテーブルを1つ以上有する1つのサブコマンドレシピテーブル10を1つ以上有し、かつこのサブコマンドレシピテーブル10の各コマンドのアドレスを示すコマンドレシピポインタを備えたコマンドレシピテーブル9を有する。
請求項（抜粋）：
半導体処理装置におけるコントローラーのシステムのシーケンス制御装置において、1つのイベント内容を示すイベントデータテーブルを1つ以上有する1つのサブコマンドレシピテーブルを1つ以上有し、かつこのサブコマンドレシピテーブルの各コマンドのアドレスを示すコマンドレシピポインタを備えたコマンドレシピテーブルを有する半導体処理装置におけるコントローラーの処理コマンド制御方法。
IPC (2件)：
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