特許

J-GLOBAL ID：200903090425413567

薄膜磁性体記憶装置ならびにそれを用いた無線チップ、流通管理システムおよび製造工程管理システム

発明者： 大石 司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-040093
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243631
出願日： 2002年02月18日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】 小型化および低消費電力化が図られ、かつ無線通信機能を備えた薄膜磁性体記憶装置ならびにそれを用いた無線チップ、流通管理システムおよび製造工程管理システムを提供する。【解決手段】 薄膜磁性体記憶装置は、外部との電波を送受信するためのアンテナ部4を備える。アンテナ部4を構成するインダクタンス配線5は、金属配線6と、その下面部または、その下面部および側面部に対応して形成された磁性体膜7とを有する。磁性体膜7は、専用の製造工程を設けることなく、薄膜磁性体記憶装置の本来の製造工程内にて作製される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された薄膜磁性体記憶装置であって、前記基板上に形成された導電性配線と、前記基板上において、前記導電性配線の下層側において、前記導電性配線の少なくとも直下部に対応して選択的に形成された第1の磁性体膜とを備える、薄膜磁性体記憶装置。

IPC (7件)：

H01L 27/105 ,  G06K 19/06 ,  G06K 19/07 ,  G06K 19/077 ,  G11C 11/14 ,  G11C 11/15 ,  H01L 43/08

FI (7件)：

G11C 11/14 A ,  G11C 11/15 ,  H01L 43/08 Z ,  H01L 27/10 447 ,  G06K 19/00 B ,  G06K 19/00 H ,  G06K 19/00 K

Fターム (14件)：

5B035AA05 ,  5B035BB02 ,  5B035BB09 ,  5B035CA11 ,  5B035CA23 ,  5F083FZ10 ,  5F083JA37 ,  5F083JA40 ,  5F083LA12 ,  5F083LA16 ,  5F083NA08 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA12 ,  5F083ZA30