光回路とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331158
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191236
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】光導波路と各種光部品間の高効率な光結合、光回路の低コスト化、並びに温度変動、振動衝撃などに対して信頼性が高い光回路を得る。【構成】Si基板1に、石英系部材からなる光導波路2と、光導波路2と半導体光源との間のSi基板1上に光導波路2と同一の材料を用い、Si基板1上で固体素子化された反射ミラー7を形成し、かつ反射面71を形成する。あるいはまた、Si基板1上Si部材による反射ミラーを形成し、Si異方性エッチングで反射面を形成し、反射ミラーとSi基板のそれぞれにSi異方性エッチングで互いに嵌合可能な凹,凸構造を設けて嵌入固定する。

請求項（抜粋）：

Si基板上に光導波路が形成され前記光導波路からの出射光を光軸変換する光回路において、前記光導波路からの出射光を反射する反射ミラーが、Si異方性エッチングにより形成された反射面に反射膜をコーティングしたSi部材からなり、かつSi異方性エッチングにより前記Si部材からなる反射ミラーと前記Si基板のいずれか一方には凹形状部をまた他方には前記凹形状部と嵌合する凸形状部を形成し前記反射ミラーと前記Si基板とを前記凹及び凸形状部を介して嵌入固定したことを特徴とする光回路。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-070806
特開昭63-191111
特開昭63-070805

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