チタン酸化物被膜作製用水溶液、およびチタン酸化物被膜の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322936
公開番号（公開出願番号）：特開平11-158691
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】大型の成膜装置を必要とすることなく、大面積及び複雑形状の基板上にも、膜厚及び組成が均一で結晶性の優れたチタン酸化物被膜を形成するチタン酸化物被膜作成用水溶液及びチタン酸化物被膜の製造。方法を提供する。【解決手段】チタンイオン、硝酸イオン、過酸化物、及び錯化剤を含有し、かつpHが3.0より大きい水溶液とする。また、該水溶液中で、基板に電解析出を施すことによりチタン酸化物被膜を形成する。

請求項（抜粋）：