特許

J-GLOBAL ID：200903090449245320

熱型放射検出装置

発明者： 鈴木 純児
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-199225
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014538
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 環境温度の影響を低減するための信号処理や、光源の光量変動の影響を低減するための信号処理や、画像補正処理などを、可能にする。【解決手段】 基板1上に、熱型放射検出有効素子101及び熱型放射検出無効素子102が設けられる。有効素子101は、被支持部を有する。この被支持部は、赤外線を受けて熱に変換する赤外線吸収部と、この赤外線吸収部にて発生した熱に応じて基板1に対して変位する変位部と、該変位部に生じた変位に応じた所定の変化を得るために用いられる反射板と、を有する。無効素子102は、有効素子101と実質的に同じ構造を持ちつつ、入射しようとする赤外線に応答しないように構成される。

請求項（抜粋）：

基体と、前記基体上に設けられた少なくとも1つの熱型放射検出有効素子と、前記基体上に設けられた少なくとも1つの熱型放射検出無効素子とを備え、前記少なくとも1つの熱型放射検出有効素子は、前記基体に支持された被支持部であって、放射を受けて熱に変換する放射吸収部と、該放射吸収部にて発生した熱に応じて前記基体に対して変位する変位部と、該変位部に生じた変位に応じた所定の変化を得るために用いられる変位読み出し部材と、を有する被支持部を備え、前記少なくとも1つの熱型放射検出無効素子は、前記熱型放射検出有効素子と実質的に同じ構造を持ちつつ、入射しようとする放射に応答しないように構成されたことを特徴とする熱型放射検出装置。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/40

FI (3件)：

G01J 1/02 R ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/40

Fターム (12件)：

2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065AB05 ,  2G065BA34 ,  2G065BB24 ,  2G065BE05 ,  2G066BA20 ,  2G066BA27 ,  2G066BA31 ,  2G066CA02 ,  2G066CA11