特許
J-GLOBAL ID：200903090450747402
複数ターゲット用の温度調節コントローラ及び同コントローラを備えた基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上村 輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269739
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100681
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 複数の処理チャンバをもつ基板処理装置において、全チャンバの温度調節プロセスを1台で制御でき、かつチャンバの増設や仕様変更にも容易に対応できる温度調節コントローラを提供する。【解決手段】 温度調節コントローラ23は、複数の処理チャンバ1A,1B,...の温度調節のための情報処理を行うコンピュータを搭載したマザーボード23と、処理チャンバ1A,1B,...に対してセンサ信号や制御信号の入出力を行う複数枚のインタフェースボード41〜47とを有する。インタフェースボード41〜47は、マザーボード23に着脱可能であり、その枚数も変更できる。インタフェースボード41〜47は、デジタル信号入出力ボード41、高精度アナログ信号入力ボード43、中精度アナログ信号入力ボード45、アナログ信号出力ボード47のように、入出力する信号の性質に応じて幾つかの種類に分けられている。各インタフェースボードは、それぞれ複数の入力又は出力ポートを有し、複数の処理チャンバと接続できる。
請求項（抜粋）：
複数の温調ターゲットを温度調節するための情報処理を行う、前記複数の温調ターゲットに対し共通に設けられた情報処理装置と、前記複数の温調ターゲットから出力される異なった種類の状態信号を前記情報処理装置に入力するための入力回路と、前記情報処理装置から出力される異なった種類の制御信号を前記複数の温調ターゲットへ出力するための出力回路とを備え、前記入力回路は前記状態信号の各種類につき複数の入力ポートを有し、前記出力回路は前記制御信号の各種類につき複数の出力ポートを有する、複数ターゲット用の温度調節コントローラ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/68 N
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA37
