力学量センサ素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-243860
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172793
出願日： 2004年08月24日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】高感度かつ高精度に力学量を測定できる力学量センサ素子を提供すること。【解決手段】応力Fの印加によって電気的特性が変化する特性を有する感圧体2と、該感圧体2の対向する2つの表面に、それぞれ一体的に形成された電気絶縁性の絶縁体3とを有してなる力学量センサ素子1である。感圧体2は、ガラスよりなるマトリックスに導電性を有する導電性粒子を分散してなる。好ましくは、導電性粒子は、RuO2よりなることがよく、感圧体2の厚みは、1μm〜200μmであることがよい。また、感圧体2には、一対の電極4が配設されていることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

応力の印加によって電気的特性が変化する感圧体と、該感圧体の対向する2つの表面に、それぞれ一体的に形成された電気絶縁性の絶縁体とを有してなり、上記感圧体は、ガラスよりなるマトリックスに導電性を有する導電性粒子を分散してなることを特徴とする力学量センサ素子。

IPC (1件)：

G01L1/20

FI (1件)：

G01L1/20 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

感歪み抵抗体ペーストおよびこれを用いた力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-110711 出願人：松下電器産業株式会社
感歪み抵抗体ペーストおよびそれを用いた力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-056552 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (13件)

力学量センサ素子構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-338130 出願人：株式会社豊田中央研究所, 豊田工機株式会社
歪検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-050820 出願人：株式会社デンソー, 住友金属鉱山株式会社
感歪み抵抗体ペーストおよびこれを用いた力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-110711 出願人：松下電器産業株式会社

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