特許

J-GLOBAL ID：200903090456348372

キャリア搬送装置

発明者： 白岩 裕嗣
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-201809
公開番号（公開出願番号）：特開平5-270610
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 キャリア51が載置された第1のキャリア載置台と、キャリアの搬送先である第2のキャリア載置台と、キャリアの下方から複数個のキャリアを同時に保持するキャリア保持部と、キャリア保持部を昇降させる昇降移動手段と、第1のキャリア載置台の下方から第2のキャリア載置台の下方にわたって設けられた、キャリア保持部33,34及び昇降移動手段を水平移動させる。昇降移動手段は、キャリア保持部を第1のキャリア載置台の下方から上昇させて、載置されたキャリアを保持させて、キャリアを上昇させる。キャリア保持部及び昇降移動手段を水平移動させて、第2のキャリア載置台の上方まで移動させ保持部を下降させて、キャリアを載置台の上に載置させる。【効果】 キャリア内のウエハにダストが付着することが少ない。

請求項（抜粋）：

板状体を収納可能な第1のキャリア載置台と、板状体を収納可能な第2のキャリア載置台と、キャリアの下方で該キャリアを保持するキャリア保持部と、該キャリア保持部を前記第1のキャリア載置台の下方から上昇させて、前記第1のキャリア載置台に載置された該キャリアを該キャリア保持部に保持させて該キャリアを上昇させた後、該キャリア保持部を水平移動し、前記第2のキャリア載置台の上方から下降させて、該キャリアを前記第2のキャリア載置台に載置するキャリア保持部駆動手段と、を具備することを特徴とするキャリア搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 1/00 ,  H01L 21/68 ,  B65G 47/52

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-115013
  
• 特開昭56-007806
  
• 特開昭54-152864
  
• 特開昭54-061528