耐摩耗性硬質炭素被膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上野登
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273474
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092935
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】加工コストの増大を招くことなく、基材上に形成した硬質炭素被膜表面を容易に平滑化でき、これにより基材表面に形成した硬質炭素被膜による相手材の過度の摩耗を抑制することが可能な耐摩耗性硬質炭素被膜を提供すること。【解決手段】基材10上に直接又は中間層を介してビッカース硬度HVが800以上の硬質炭素被膜11を形成すると共に、該硬質炭素被膜11の表面に、さらに、前記硬質炭素被膜11よりもビッカース硬度が200以上低い材料からなる第2の被膜、特に、前記高硬度の硬質炭素被膜11より硬度の低い硬質炭素被膜12を形成するようにした。

請求項（抜粋）：

基材上に直接又は中間層を介して形成したビッカース硬度Hvが800以上の硬質炭素被膜と、該硬質炭素被膜の表面に形成した第2の被膜とを備え、該第2の被膜は、前記硬質炭素被膜よりもビッカース硬度Hvが200以上低い材料からなることを特徴とする耐摩耗性硬質炭素被膜。

IPC (3件)：

C23C 16/26 , B32B 9/00 , C23C 14/06

FI (3件)：

C23C 16/26 , B32B 9/00 A , C23C 14/06 F

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