特許
J-GLOBAL ID：200903090482414286
ダイヤモンドの合成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126014
公開番号（公開出願番号）：特開平7-101799
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：
【要約】【目的】 気相合成によるダイヤモンド合成方法の改良に関するものである。【構成】 発熱体により加熱した原料ガスを、基板表面に導入してダイヤモンドを析出させるダイヤモンドの合成方法において、発熱体と基板表面との間隔が位置により異なるようにして基板表面温度を均一化させること、合成開始前あるいは合成中に基板表面の温度に応じて、発熱体と基板表面との間隔を調整すること、あるいはダイヤモンド合成装置内に原料ガスの流路調整手段を設け、基板表面領域以外の原料ガスの流路を遮るようにすることを特徴とするダイヤモンドの合成方法。【効果】 広い面積にわたって均一且つ速い合成速度で、均一な膜質を有するダイヤモンド膜を製造することができる。
請求項（抜粋）：
炭化水素と水素との混合ガスを加熱された発熱体により加熱し、該加熱混合ガスを加熱された基板表面に導入してダイヤモンドを析出させるダイヤモンドの合成方法において、発熱体と基板表面との間隔が位置により異なるようにすることにより基板表面温度を均一化させることを特徴とするダイヤモンドの合成方法。
IPC (2件)：
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