特許
J-GLOBAL ID：200903090493448174
走査型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100377
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307272
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 小型でスループットが高く、露光中に露光光束の光量が変動しても感光基板に対する露光量が均一になる走査型露光装置を提供する。【構成】 走査型露光装置20において、露光光束の光量の積算値を検出する光量積算値検出手段22,23で検出された積算値に基づいて、レチクル11とガラスプレート14の露光光束に対する目標移動量wを求める。実際の移動量が目標移動量wに一致するようにレチクル制御部23,プレート制御部24,移動制御部25でレチクルとガラスプレートの移動量を制御する。
請求項（抜粋）：
光源からの光束を照明光学系を介して原板の一部分に照射し、該照射された一部分の像を感光基板上に投影するとともに前記原板と前記感光基板とを同期して前記光束に対して相対移動する走査型露光装置において、前記光束の光量の積算値を検出する光量積算値検出手段と、検出された前記積算値に基づいて、前記原板と前記感光基板の前記光束に対する相対移動を制御する移動制御手段とを備えたことを特徴とする走査型露光装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 518
, H01L 21/30 516 D
