特許

J-GLOBAL ID：200903090494002633

ノズル検査装置

発明者： 織田 勝義 ,  高橋 圀昭 ,  沼尾 宇俶 ,  川端 康介
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237180
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079828
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 ノズルの心振れ及び欠陥を検出するためのノズル検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ノズル検査装置はノズル支持装置を有し、このノズル支持装置はノズルを回転可能に支持する軸受けと、周囲に弾性体を有する回転可能な円板と、を有し、軸受けによって支持されたノズルは円板の弾性体との間の摩擦伝動によって回転するように構成されている。ノズルの先端は、ビデオカメラによって撮像され、ノズルの先端の像はモニタ装置によって表示される。またビデオカメラからの画像信号は画像処理装置に供給される。

請求項（抜粋）：

ノズルを回転可能に支持するノズル支持部と該ノズル支持部によって支持されたノズルを回転させながら検査するための検査部とを有するノズル検査装置において、上記ノズル支持部は、ノズルを回転可能に支持する軸受けと、周囲に弾性体を有する回転可能な円板と、を有し、上記軸受けによって支持されたノズルは上記円板の弾性体との間の摩擦伝動によって回転するように構成されていることを特徴とするノズル検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 5/00

FI (2件)：

G01B 11/24 A ,  G01B 5/00 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• チップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-323256   出願人：ソニー株式会社
• 円筒ワークの同心度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-077234   出願人：京セラ株式会社
• 特開平3-239489
  
• 特開平3-239489