特許

J-GLOBAL ID：200903090500691624

液体供給ノズルと処理方法

発明者： 高野 径朗 ,  井上 義和 ,  室田 哲也
出願人/特許権者： シグマメルテック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-121810
公開番号（公開出願番号）：特開2001-239187
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【目的】 被処理基板に対し大流量の液体を衝撃なく、また、気泡が混入することなく被処理基板に供給し、均一で精度の高いパターンを得る小型で装置組み込みが容易な液体供給ノズルと液体処理方法を提供することである。また、ゴミ欠陥のない高品質の液体処理を行う液体供給ノズルと液体処理方法を提供することである。【構成】 液体入力口を備えた、ノズル筒体と第1および第2の整流手段と第1および第2の緩衝部と、さらには層流形成手段を具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理基板に対向して配置し、該被処理基板に所定の液体を吐出する液体供給ノズルにおいて、液体入力口を備えたノズル筒体と第1および第2の整流手段と第1および第2の緩衝手段を具備したことを特徴とする液体供給ノズル。

IPC (3件)：

B05B 1/14 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00

FI (3件)：

B05B 1/14 A ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00

Fターム (18件)：

4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA05 ,  4F033EA05 ,  4F033JA01 ,  4F033JA06 ,  4F033PA11 ,  4F033QA05 ,  4F033QC04 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA13 ,  4F041BA17 ,  4F042AA07 ,  4F042DD33 ,  4F042DD36