光記録媒体用スパッタホルダおよび光記録媒体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233282
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081964
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】光記録媒体の反り、チルト、加速度等の機械特性を改善し、歪みの少ない光記録媒体を作製する。【解決手段】ホルダに記録媒体基板を保持し、少なくとも記録層をスパッタする光記録媒体の製造方法において、該基板を保持するホルダーの基板に接触する外周部と内周部との高さが異なることを特徴とする光記録媒体用スパッタホルダおよびそれを用いた光記録媒体の製造方法。

請求項（抜粋）：

スパッタ時に光記録媒体基板を保持するためのホルダであって、該基板を保持するホルダの基板に接触する外周部と内周部との高さが異なることを特徴とする光記録媒体用スパッタホルダ。

IPC (3件)：

C23C 14/34 , C23C 14/00 , G11B 7/26 531

FI (3件)：

C23C 14/34 T , C23C 14/00 D , G11B 7/26 531

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