インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林久夫 (外3名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999000025
公開番号（公開出願番号）：WO1999-034979
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月15日
要約：

【要約】安価で取り扱いが容易な大型の基板を用いることが出来るようにして生産性を向上した、インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット記録装置。電極ガラス基板(100)上に個別電極(101)を形成し、それを絶縁膜(202)で覆う。そして、絶縁膜(202)の上に犠牲層(110)を形成し、さらにその上に振動板(201)を形成する。振動板(201)の支持部に窓部(212)を設けて、その窓部(212)を通じて犠牲層(110)をエッチングし、静電アクチュエータ構造を形成する。その後、窓部(212)を塞ぐ為、再度全面にNiを堆積した後にパターニングして隔壁基部(213)を形成する。Ni電鋳でキャビテイ隔壁(214)を形成し、ノズルプレート(300)を接合する。

請求項（抜粋）：

複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連通する独立した吐出室と、該吐出室の一部を構成し導電性を有する振動板と、該振動板に空隙をもって対向する個別電極とを有し、前記振動板と該個別電極との間に電圧を印加して該振動板を変形することにより、前記ノズル孔より前記吐出室内のインクを記録紙に向け吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記空隙は犠牲層エッチングによって形成されたインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

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