特許
J-GLOBAL ID：200903090511908528
静電容量型圧力センサとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-313032
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167725
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 製造工程を短縮し、寸法精度を向上させ、製品特性を安定化させる。【構成】 ダイアフラム1は単結晶シリコン基板にレジストマスクを形成し、一方の面からのエッチングで凹部4、薄肉部5、厚肉部6を形成することにより作られる。厚肉部6の厚さは元のシリコン基板と同じ厚さである。厚肉部6を従来品より厚くしたので圧力印加による変形が殆どなく、電極9との平行度が維持され、容量が安定する。薄肉部5、厚肉部6から成る感圧部に対向する電極9は上部ガラス板の凹部に形成する。台座ガラス板3の凹部11は厚肉部6の可動範囲を設定し、定格以上の圧力印加でダイアフラム1が破壊するのを防ぐ。ダイアフラム1は一方の面からのみのエッチングで形成されるので薄肉部5、厚肉部6の寸法制御が容易になり、寸法精度が向上し製品特性が安定すると同時に製造工程が大幅に短縮され、製造歩留りも向上する。
請求項（抜粋）：
シリコン基板に設けられた薄肉部と厚肉部とから成る感圧部を有するダイアフラムと、前記ダイアフラムの上面に取付けられ前記感圧部に間隔をおいて対向する電極と前記間隔に連結する通気孔を有する上部ガラス板と、前記ダイアフラムの下面に取付けられ前記感圧部との間に形成される空洞に連結する通気孔を有する台座ガラス板とを備えて構成される静電容量型圧力センサにおいて、前記感圧部の厚肉部が前記シリコン基板の厚さと同じ厚さを有し、前記電極が形成されている部分の前記上部ガラス板に凹部が設けられて前記感圧部と前記電極との間に空洞が形成され、前記厚肉部に向い合う台座ガラス板面の部分に前記通気孔に連絡する凹部が形成されていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (4件)：
G01L 9/12
, G01L 1/14
, H01L 21/306
, H01L 29/84
