特許
J-GLOBAL ID：200903090514022482
光学測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320897
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178623
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、測定対象物のエッジで形成される位置または長さ測定と、高さ測定を1回の走査で簡単かつ迅速に行う光学測定装置を提供する。【構成】ステージ1に載置された測定対象物3に対する透過光の変化からエッジ信号Iをエッジ検出部30で検出するとともに、測定対象物3の測定点5と対物レンズ2との相対距離を一定に保つのに要する合焦信号Jを合焦検出部31で検出し、この合焦検出部31での合焦信号Jよりオートフォーカス系により測定対象物3の測定点5と対物レンズ2との相対距離を一定に保ち、エッジ検出部30より検出されたエッジ信号Iの立ち下がりでエッジ検出部30をオフ、合焦検出部31をオン、合焦信号Jにより合焦検出部31をオフ、エッジ検出部30をオンに制御し、この制御で有効とされた合焦信号Jより測定対象物3の光軸方向の高さを、エッジ信号Iによりエッジで形成される位置または長さを測定する。
請求項（抜粋）：
測定対象物を載置するステージと、このステージに対し光軸と垂直な方向に相対移動可能に設けられた拡大光学系と、前記拡大光学系に対し相対移動される前記測定対象物に対する透過光または反射光の変化から前記測定対象物のエッジ部に対応したエッジ信号を検出するエッジ検出手段と、前記測定対象物の測定点と前記拡大光学系との相対距離を一定に保つのに要する合焦信号を検出する合焦検出手段と、この合焦検出手段からの合焦信号により前記ステージと前記拡大光学系の光軸方向の相対的な距離を制御し前記測定対象物の測定点と拡大光学系との相対距離を一定に保つオートフォーカス手段と、前記エッジ検出手段からのエッジ信号および前記合焦検出手段からの合焦信号により前記エッジ検出手段および前記合焦検出手段の有効または無効を制御する制御手段とを具備し、この制御手段より有効とされた前記合焦検出手段の合焦信号より前記測定対象物の前記光軸方向の高さを測定するとともに、前記エッジ検出手段のエッジ信号により前記エッジで形成される位置または長さを測定することを特徴とする光学測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/02
, G01B 11/24
, G01C 3/06
, G02B 7/28
