特許

J-GLOBAL ID：200903090514315056

回折格子集合体の作製方法

発明者： 吉武尚子
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223966
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067006
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 部分領域の撮影に失敗してもそれまでの工程が無駄にならず、位置決めに狂いがあっても部分回折格子間に格子のない領域等が生じない作製方法。【構成】 感光材2全面に第1の部分領域?@の方向とピッチを持つ二光束干渉縞を露光して第1の回折格子を作製し、その回折格子の複製3をとり、その上に感光材4を塗布し、その全面に第2の部分領域?Aの二光束干渉縞を露光して第2の回折格子を作製し、第2の部分領域?A以外の少なくとも第1の部分領域?@を含む領域に光を照射して感光材4を剥離ないし除去して、第1の部分領域?@に第1の回折格子が、第2の部分領域?Aに第2の回折格子が形成された回折格子体を作製し、次に、同様な工程を繰り返すことにより、各部分領域それぞれに所定の回折格子が形成された回折格子集合体を作製する。

請求項（抜粋）：

方向又はピッチの異なる回折格子を複数並列配置してなる回折格子集合体の作製方法において、基板に感光材をコーティングし、その全面に第1の部分領域の方向とピッチを持つ二光束干渉縞を露光して第1の回折格子を作製し、次に、その回折格子の複製をとり、複製板を新たな基板とし再度感光材をコーティングし、その全面に第2の部分領域の方向とピッチを持つ二光束干渉縞を露光して第2の回折格子を作製し、その後、第2の部分領域以外の少なくとも第1の部分領域を含む領域に光を照射し、現像処理により光の照射領域の感光材を剥離ないし除去して、少なくとも、第1の部分領域に第1の回折格子が、第2の部分領域に第2の回折格子が形成された回折格子体を作製し、次に、その回折格子体の複製をとり、第3の部分領域以降について、同様な工程を繰り返すことにより、各部分領域それぞれに所定の回折格子が形成された回折格子集合体を作製することを特徴とする回折格子集合体の作製方法。