特許
J-GLOBAL ID：200903090514349333
難燃性感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263770
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027433
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】パターン形成段階でアルカリ現像液により現像可能であり、且つ難燃性及びその他の各種性能に優れたソルダーレジスト用感光性樹脂組成物を提供する。【構成】(a) 少なくとも一種のα,β不飽和カルボキシル基含有単量体を15〜30重量%共重合させたアクリル系熱可塑性重合体35〜65重量部、(b) 一般式[I]で示されるブロム置換単量体5〜30重量部、【化11】(c) 平均粒径が0.1μm以下の三酸化アンチモン0.1〜10重量部、(d) (b) を除くビニル単量体20〜55重量部、及び(e) 光重合開始剤0.01〜10重量部からなり、(a)(b)(c)(d)(e) の総量が 100重量部となるように組合せた難燃性感光性樹脂組成物である。
請求項（抜粋）：
(a) 少なくとも一種のα,β不飽和カルボキシル基含有単量体を15〜30重量%共重合させたアクリル系熱可塑性重合体35〜65重量部、(b) 一般式[I]で示されるブロム置換単量体5〜30重量部、【化1】(c) 平均粒径が0.1μm以下の三酸化アンチモン0.1〜10重量部、(d) (b) を除くビニル単量体20〜55重量部、及び(e) 光重合開始剤0.01〜10重量部、からなり、(a)(b)(c)(d)(e) の総量が 100重量部となるように組合せた難燃性感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 521
, G03F 7/029
, G03F 7/031
, G03F 7/033
, H01L 21/027
, H05K 3/28
