特許
J-GLOBAL ID：200903090514570471

可動磁石型リニアモータ、露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
是永 伸茂

是永 伸茂 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-390540
公開番号（公開出願番号）：特開2003-189589
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：
【要約】【課題】可動磁石型リニアモータにおいてコギングを実質的にゼロにする。【解決手段】本発明の可動磁石型リニアモータは、移動方向に並べて配列された複数の永久磁石111を有する可動子110と、複数のコイルが巻かれた櫛歯状鉄心102を有する固定子100を備えている。複数の永久磁石111は、可動子110の移動方向における各永久磁石111の両端の位置が櫛歯状鉄心102の歯のピッチだけずれるように、傾斜して配置されている。
請求項（抜粋）：
可動磁石型リニアモータであって、移動方向に並べて配列された複数の永久磁石を有する可動子と、複数のコイルが巻かれた櫛歯状鉄心を有する固定子と、を備え、前記複数の永久磁石は、前記移動方向における各永久磁石の両端の位置が実質的に前記櫛歯状鉄心の歯のピッチだけずれるように、傾斜して配置されていることを特徴とする可動磁石型リニアモータ。
IPC (3件)：
H02K 41/03 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H02K 41/03 A ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (25件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031JA36 ,  5F031KA06 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H641BB06 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG04 ,  5H641GG08 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH08 ,  5H641HH09 ,  5H641HH16 ,  5H641JA05
引用特許：
審査官引用 (8件)
  • テーブル移動装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-017916   出願人：日本パルスモーター株式会社
  • モータの回転子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-354720   出願人：住友重機械工業株式会社
  • リニアモータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-343486   出願人：株式会社安川電機
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