物体表面の凹凸プロフィール計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-032598
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221619
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：

【要約】【課題】レーザ測距技術を応用して物体表面の凹凸プロフィールを直接的に計測することにより物体表面の見かけ状態に左右されることなく刻印をはじめとする各種凹凸プロフィールを高精度で計測すること。【解決手段】レーザ光線照射部3aとレーザ光線受光部3bを有するレーザ測距ユニット3を支軸の回りに回動自在に配設する。レーザ測距ユニット3は1回の片道回動毎に支軸の軸線方向に定ピッチ移動させる。レーザ光線照射部3aからプレート表面の刻印に向けてレーザ光線を照射し、プレート表面からの反射レーザ光線をレーザ光線受光部3bで受光する。レーザ測距ユニット3からの信号に基づき第1演算手段でレーザ光線照射点までの距離を演算する。レーザ測距ユニット3の回動と定ピッチ移動により刻印の全領域をレーザ光線で走査し、刻印の深さに関するプロフィールを計測する。

請求項（抜粋）：

凹部又は凸部を有する物体表面に向けてレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段と、前記レーザ光線照射手段に隣接配置され、前記物体表面からの反射レーザ光線を受光するレーザ光線受光手段と、前記レーザ光線照射手段及びレーザ光線受光手段からの信号に基づき前記レーザ光線照射手段から前記物体表面のレーザ光線照射点までの距離を演算する第1演算手段と、前記凹部又は凸部の存在領域に沿ってレーザ光線を走査すべく前記レーザ光線照射手段及びレーザ光線受光手段を一体型のレーザ光線照射受光組立体として前記物体表面に対して相対的に移動させる移動手段と、前記第1演算手段と前記移動手段からの信号に基づき前記物体表面の凹部又は凸部のプロフィールを演算する第2演算手段とを有することを特徴とする物体表面の凹凸プロフィール計測装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01B 11/00 , G01B 11/22 , G01C 3/06

FI (4件)：

G01B 11/00 B , G01B 11/22 Z , G01C 3/06 Z , G01B 11/24 A

Fターム (26件)：

2F065AA06 , 2F065AA25 , 2F065AA52 , 2F065BB05 , 2F065CC00 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065MM07 , 2F065MM08 , 2F065PP02 , 2F065PP05 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ34 , 2F065QQ38 , 2F065RR05 , 2F065RR08 , 2F112AD05 , 2F112BA06 , 2F112CA05 , 2F112CA12 , 2F112FA03 , 2F112FA21 , 2F112FA33

引用特許：

審査官引用 (5件)

3次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-351924 出願人：技術研究組合医療福祉機器研究所
特開平2-260076
開先形状計測方法及び開先形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-357617 出願人：東京瓦斯株式会社, 株式会社日立エンジニアリングサービス

全件表示

前のページに戻る