特許
J-GLOBAL ID:200903090516820360
電鋳方法、電鋳装置および光記録媒体製造用スタンパの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
林 實
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-010017
公開番号(公開出願番号):特開2000-212790
出願日: 1999年01月19日
公開日(公表日): 2000年08月02日
要約:
【要約】【課題】短い電鋳時間で効率よく膜厚の均一な電鋳膜を得る。【解決手段】電鋳装置において、電鋳物を保持し該電鋳物に電圧を印加するための陽極機構と、被電鋳物を保持し該被電鋳物に電圧を印加するための陰極機構と、電鋳液を注入した電鋳層と、陰極機構に対する電鋳液の液面の高さを変位させる電鋳液面変位機構とを備え、陰極の陽極側の表面と陽極の陰極側の表面とが成す角度が3°以上、20°以下の角度となるように陰極と陽極とを配置する構成とした。
請求項(抜粋):
電鋳液中で陽極と陰極との間に電圧を印加することにより前記陰極の表面に電鋳膜を形成する電鋳方法において、前記陰極の陽極側の表面と前記陽極の陰極側の表面とが成す角度を3°以上、20°以下の角度となるように前記陰極と前記陽極とを配置し、前記陰極に対する前記電鋳液の液面の高さを時間とともに変化させて電鋳を行うことを特徴とする電鋳方法。
IPC (3件):
C25D 1/00 321
, C25D 1/00
, C25D 21/00
FI (4件):
C25D 1/00 321
, C25D 1/00 A
, C25D 21/00 D
, C25D 21/00 J
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