特許
J-GLOBAL ID：200903090524323197
電子線装置用スペーサの製造方法と電子線装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-046353
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311608
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、表面帯電を抑制できる表面構造を有するスペーサを簡単な工程にて、低価格に製造する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 気密容器と、前記気密容器内に配置された、電子源及びスペーサとを備える電子線装置のスペーサを製造するにあたり、スペーサの基材501をヒーター502により加熱延伸する工程において、表面に凹凸を有する引き出しローラー503を用いて基材の表面に所望の凹凸を形成したり、あるいは、表面に凹凸を有するスペーサの基材を加熱延伸する。
請求項（抜粋）：
気密容器と、前記気密容器内に配置された、電子源及びスペーサとを備える電子線装置の前記スペーサの製造方法であって、前記スペーサの基材を加熱延伸する工程を有し、前記加熱延伸する工程において前記基材の表面に所望の凹凸を形成することを特徴とする電子線装置用スペーサの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/24 A
, H01J 31/12 C
