特許

J-GLOBAL ID：200903090527950923

静電容量型圧力センサ

発明者： 敦賀 紀久夫
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275661
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119877
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】 シリコン基板とガラス基板との間に形成されるキャビティ部に塵埃が侵入するという欠点を除去した高信頼性の静電容量型圧力センサを提供すること。【解決手段】 圧力により変形する可動電極として機能するダイヤフラム部12を有するシリコン基板11と,固定電極14が形成された絶縁基板13とのそれぞれの電極を所定の距離をおいて対向配置させ,前記シリコン基板11と前記絶縁基板13を接合してセンサチップ21を構成し,このセンサチップ21を貫通孔19有するベース部材16に固定し,カバー部材23を覆設してなる静電容量型圧力センサにおいて,前記固定電極14と前記可動電極との間に形成されたキャビティ部15と連通する,前記ベース部材16に設けられた貫通孔19を有するパイプの途中にくびれ2を設け,前記貫通孔19のくびれ2の部分にシリコンオイル3を設けた。

請求項（抜粋）：

圧力により変形する可動電極として機能するダイヤフラム部を有するシリコン基板と,固定電極が形成された絶縁基板とのそれぞれの電極を所定の距離をおいて対向配置させ,前記シリコン基板と前記絶縁基板を接合してセンサチップを構成し,該センサチップを貫通孔を有するベース部材に固定し,カバー部材を覆設してなる静電容量型圧力センサにおいて,前記固定電極と前記可動電極との間に形成されたキャビティ部と連通する,前記ベース部材に設けられた貫通孔を有するパイプの途中にくびれを設け,前記貫通孔のくびれの部分にシリコンオイルを設けたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 1/14 ,  H01L 23/28

FI (3件)：

G01L 9/12 ,  G01L 1/14 A ,  H01L 23/28 D