特許

J-GLOBAL ID：200903090534295930

ガスセンサ用組成物およびこの組成物を用いたガスセ ンサの製造方法

発明者： 河合 高志
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-336916
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164720
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 NOXガスに選択的に感応するための組成物およびこのセンサを組成物を用いたガスセンサの製造方法を提供する。【構成】 Inのアルコキシドにn形導電性とNOxに対する選択性を付与するための金属をアルコキシド又は有機酸塩の状態で有機溶媒に溶解し,この溶液を抵抗測定用の電極を付与した絶縁物基板に塗布し,熱分解して酸化物薄膜(In2O3)を形成し,この酸化物薄膜上に保護膜として作用する溶液を塗布して熱分解する。

請求項（抜粋）：

In2O3にn形導電性とNOxに対する選択性を付与する金属元素を加えたことを特徴とするガスセンサ用組成物。