特許
J-GLOBAL ID：200903090544391709
荷電粒子ビーム装置。
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-361625
公開番号（公開出願番号）：特開2005-129614
出願日： 2003年10月22日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 DA変換器-アンプ系の故障を検出する。【解決手段】 デジタル信号供給手段からのデジタル信号が供給されるDA変換器-アンプ系を少なくとも1組備えた荷電粒子ビーム装置に、第2のDA変換器と、第2のDA変換器の出力に許容値を加算する加算器と、第2のDA変換器の出力から許容値を差し引く減算器と、DA変換器-アンプ系のアンプの出力からこのアンプが増幅した分をカットした出力を発生するカット手段と、減算器の出力と加算器の出力各々に対するカット手段の出力の大小を比較し、カット手段の出力が減算器の出力と加算器の出力の間にあるか否かの信号を発生する比較手段とから成るDA変換器-アンプ故障検出回路を設けた。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
デジタル信号供給手段からのデジタル信号をアナログ信号に変換するDA変換器と、該アナログ信号を増幅し荷電粒子ビーム制御手段に供給するアンプとから成るDA変換器-アンプ系を少なくとも1組備えた荷電粒子ビーム装置において、前記デジタル信号供給手段からのデジタル信号をアナログ信号に変換する第2のDA変換器と、該第2のDA変換器の出力に許容値を加算する加算器と、前記第2のDA変換器の出力から許容値を差し引く減算器と、前記アンプの出力から該アンプが増幅した分をカットした出力を発生するカット手段と、前記減算器の出力と前記加算器の出力各々に対する前記カット手段の出力の大小を比較し、前記カット手段の出力が前記減算器の出力と前記加算器の出力の間にあるか否かの信号を発生する比較手段とから成るDA変換器-アンプ故障検出回路を設けた荷電粒子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01L21/027
, H01J37/147
, H01J37/305
H01L21/30 541C
, H01J37/147 C
, H01J37/305 B
5C033GG07
, 5C034BB04
, 5F056AA01
, 5F056BC04
, 5F056EA10
