特許

J-GLOBAL ID：200903090545837026

干渉計および光走査型トンネル顕微鏡および光集積回路

発明者： 村西 勝 ,  神藤 英彦 ,  貝沼 守 ,  木村 勝彦 ,  三枝 省三 ,  田中 勝之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200393
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061912
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 光源の波長よりも非常に小さい領域の光の強度,位相の情報が安定して得られ、これまで測定方法が無かった光導波路に閉じ込められた光の波面を測定できる小型の干渉計を提供する。【構成】 光源121と、光源121からの放射光を複数の光に分割する分割手段124と、分割された光の少なくとも一つの振動数を変化させる周波数シフト手段SAW126と、分割された複数の光を干渉させる干渉手段125,130,131,135〜140と、干渉により発生したビートを検出する検出手段127〜129,132〜134と、発生させたビートから分割された光に関する情報を抽出する抽出手段141とを有する干渉計において、光源と分割手段と周波数シフト手段と干渉手段と検出手段とが、一枚のチップ上に集積化されて光集積回路143となっている。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源からの放射光を複数の光に分割する分割手段と、分割された光の少なくとも一つの振動数を変化させる周波数シフト手段と、分割された複数の光を干渉させる干渉手段と、干渉により発生したビートを検出する検出手段と、発生させたビートから分割された光に関する情報を抽出する抽出手段とを有する干渉計において、前記光源と前記分割手段と前記周波数シフト手段と前記干渉手段と前記検出手段とが、一枚のチップの上に集積化されていることを特徴とする干渉計。

IPC (4件)：

G01B 9/02 ,  G01N 37/00 ,  H01L 27/15 ,  G01B 21/30

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-121608
  
• 干渉測長器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-092831   出願人：株式会社ニコン