特許

J-GLOBAL ID：200903090547351120

アパーチャの最適形状決定装置

発明者： 奥本 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ルネサスLSIデザイン
代理人 (4件)： 田澤 博昭 ,  加藤 公延 ,  田澤 英昭 ,  濱田 初音
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-236587
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079714
出願日： 2002年08月14日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】真に最適な形状のアパーチャを決定することができるアパーチャの最適形状決定装置を得る。【解決手段】光学シミュレーションにより求められた複数の格子点における光の照射強度に応じて各アパーチャの形状毎に格子点上の照射強度の平均値を計算する平均値計算手段(ST171)と、格子点上の照射強度の平均値に応じて各アパーチャの形状毎に照射強度の分散度の総和を計算する分散度計算手段(ST171)と、最も大きい照射強度の分散度の総和を有するアパーチャの形状を最適形状であると判定する最適形状判定手段(ST171)とを備えた。【選択図】 図17

請求項（抜粋）：

複数のアパーチャの形状のそれぞれについて光学シミュレーションにより求められ、チップ上に設定された複数の格子点における光の照射強度に応じて、各アパーチャの形状毎に格子点上の照射強度の平均値を計算する平均値計算手段と、 上記照射強度および上記平均値に応じて、各アパーチャの形状毎に照射強度の分散度の総和を計算する分散度計算手段と、 上記分散度計算手段により求められた上記分散度の総和のうちで最も大きい分散度の総和を有するアパーチャの形状を最適形状であると判定する最適形状判定手段とを備えたアパーチャの最適形状決定装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 516Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

Fターム (7件)：

5F046AA25 ,  5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23 ,  5F046DA11