特許

J-GLOBAL ID：200903090553654453

露光システム

発明者： 深澤 厚博 ,  中原 兼文 ,  坂本 英昭 ,  荒木 康雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275628
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124865
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 露光装置を小型化するとともに、複数の露光装置間でマスクを共有するようにする。【構成】 マスクライブラリ6とマスク搬送装置7を露光装置10から独立した搬送車内に設け、複数の露光装置の夫々に対して位置決めして必要なマスクを受け渡す。マスクの受け渡しの際に、露光装置の受け渡し装置14の振動状態を検出し、搬送車をこの振動に同期して振動させる。

請求項（抜粋）：

転写すべきパターンが形成されたマスクのパターンを被露光基板に対して露光する複数の露光装置と;前記複数の露光装置の夫々に設けられた前記マスクの受け渡し手段の振動を検出する振動検出手段と;複数の前記マスクを搭載して前記複数の露光装置の夫々に対して所定の位置に移動可能であるとともに、前記受け渡し手段に対して前記マスクを受け渡すマスク搬送装置とを備え、前記マスク搬送装置が、前記受け渡しの際に前記受け渡し手段の振動に同期して振動することを特徴とする露光システム。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 301 J ,  H01L 21/30 301 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-094306
  
• 特開平4-118913
  
• 特開平4-199654