特許
J-GLOBAL ID：200903090558316238
基板表面の異物検査方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-253797
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071396
出願日： 2004年09月01日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 組み込み作業、調整作業を簡単化し、しかも、精度よく異物の有無を検査する。【解決手段】 基板4の移動方向と直交する方向に互いに対向させて投光器5および受光器6を配置し、投光器5から、所定の広がりを有する状態で、かつ基板4の上面と平行な状態で、レーザー光を出射する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
処理機構に対して基板を相対的に移動させながら所定の処理を行う基板処理システムにおいて、半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で前記基板の上面に沿って相対的移動方向と直交する方向の一方の側に近接する所定位置から照射し、この半導体レーザー光を前記方向の他方の側に近接する所定位置で受光し、受光レーザー光強度の大小に応じて前記基板の表面における異物の有無を検査することを特徴とする基板表面の異物検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2G051AA90
, 2G051AB12
, 2G051BA10
, 2G051BB01
, 2G051BC05
, 2G051CA01
, 2G051CB01
, 2G051EA09
, 2G051EA16
出願人引用 (3件)
審査官引用 (10件)
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