特許

J-GLOBAL ID：200903090566056369

多層膜の多数の特性を同時に測定する方法及び装置

発明者： バネット,マシュー ジェイ ,  サッコ,ロビン エイ
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-514559
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506680
出願日： 2000年07月17日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】本発明は、多層膜からなるサンプルの多数の特性を同時に測定する方法及び装置に関する。この測定は数段階の手順によって表される。第一に、少なくとも一つの励起放射源は、音響モードを励起するためサンプルの表面を照射する。放射線のプローブ源は、信号ビームを形成するためサンプルの表面から回折される音響モードを照射する。検出器は、信号ビームを生成するため音響モードを検出し、信号ビームは、音響周波数及び振幅、変調の深さ、或いは、減衰定数を判定するため解析される。これらの特性は、サンプルの少なくとも二つの特性(たとえば、2層の厚さ)を判定するため更に解析される。

請求項（抜粋）：

サンプル内で音響モードを励起するため少なくとも一つの励起放射線源でサンプルの表面を照射する照射手順と、 振動成分及び第2の時間依存性成分を有する信号ビームを生成するためプローブ放射線源で音響モードを検出する検出手順と、 サンプルの少なくとも二つの特性を判定するため、信号ビームの振動成分の周波数と、第2の時間依存性成分の振幅、振動成分の変調の深さ、又は、第2の時間依存性成分の減衰定数の中の少なくとも一つを解析する解析手順と、を含む、多層膜により構成されたサンプルの特性を測定する方法。

IPC (3件)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 17/02 ,  G01N 21/00

FI (3件)：

G01N 29/00 501 ,  G01B 17/02 Z ,  G01N 21/00 A

Fターム (32件)：

2F068AA28 ,  2F068BB01 ,  2F068BB14 ,  2F068FF28 ,  2F068GG07 ,  2F068GG09 ,  2F068QQ10 ,  2F068TT07 ,  2G047AA05 ,  2G047AB05 ,  2G047BC03 ,  2G047BC04 ,  2G047BC18 ,  2G047CA04 ,  2G047EA10 ,  2G047GD01 ,  2G047GG12 ,  2G047GG28 ,  2G047GG36 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE16 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059MM10