特許
J-GLOBAL ID：200903090571619290
密閉コンテナ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018464
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191100
出願日： 1995年01月09日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、蓋閉時のコンテナ本体の気密性を保持しつつ、蓋開時にはコンテナ本体内外の圧力差を平衡にして容易に開くことのできる密閉コンテナを提供することを目的とする。【構成】 本発明は、半導体ウエハWを収納し内部を不活性ガス雰囲気にされるコンテナ本体5と、錠機構10の施錠/解錠作動によりコンテナ本体5の内部を気密/開放状態にする蓋9とを備えてなる密閉コンテナにおいて、蓋9に設けられコンテナ本体5の内外に連通する通気口35Aを、錠機構10の施錠/解錠作動に同期して閉/開状態にする圧力平衡機構11を設けたものである。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気にされるコンテナ本体と、錠機構の施錠/解錠作動により前記コンテナ本体の内部を気密/開放状態にする蓋とを備えてなる密閉コンテナにおいて、前記蓋に設けられ前記コンテナ本体の内外に連通する通気口を、前記錠機構の施錠/解錠作動に同期して閉/開状態にする圧力平衡機構を設けたことを特徴とする密閉コンテナ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B01D 46/00
, B65D 81/20
, H01L 21/02
