表面状態検査装置及び該装置を備える露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188436
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043312
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】被検査面上の場所毎の検出感度をほぼ一定にする。【構成】マルチモードレーザー3からの光を光分割器20により上方に向かう反射光と光分割器21へ直進する透過光に分割し、反射光Aをコーナーキューブ22により透過光Bと部分的に重なるように光分割器21に入射させ、反射光Aと透過光Bを結合させることにより断面強度分布をほぼ均一にした光束を形成し、この光束をレチクル1の表面に当該表面とほぼ平行な方向から入射させ、レチクルの表面の異物11からの散乱光をレンズアレイ12で受け、レンズアレイにより異物の像を一次元イメージセンサー13上に投影する時、反射光Aと透過光Bの光路長差をレーザー3が示す可干渉距離と干渉縞のビジビリティーの関係を示すスペクトルの離散的な干渉ピークの位置から該ピークの半値幅以上ずれる値に設定する。

請求項（抜粋）：

発振縦モードがマルチモードであるレーザーからの断面強度分布が不均一なビームで被検査面を照明し、前記被検査面で生じる散乱光を検出することにより前記被検査面の表面状態を検査する装置において、前記ビームを2光束に分割し、前記2光束の各断面強度分布を合成した時に分布がほぼ均一になるよう前記2光束を重ね合わせ、前記2光束の光路長差を当該光路長差に依存して生じる離散的な干渉ピークの位置からずれるよう構成した断面強度分布均一化手段を有することを特徴とする表面状態検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G03F 1/08 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭48-055766
特開昭57-080546
スペツクルノイズの除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-334269 出願人：株式会社小野測器, 中澤和夫

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