特許
J-GLOBAL ID：200903090580651628
基板昇降装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-255652
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124990
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 軽量でかつ効率が高い基板昇降装置を提供する。【構成】 基板搬送ロボットRB2のZ軸駆動機構21は、基板Wを水平姿勢に支持しつつ昇降させるものにおいて、固定フレーム24と、固定フレーム24に回動可能に支持された第1昇降アーム25と、第1昇降アーム25に回動可能に支持された第2昇降アーム26と、第2昇降アーム26に回動可能に支持され、基板を下方から支持するハンド43を伸縮自在に支持するハウジング27と、第1昇降アーム25を回動させるZ軸駆動モータZMと、固定フレーム24に対する第1昇降アームの回動量の倍の回動量で第1昇降アーム25に対して第2昇降アーム26を逆方向に回動させる第1リンク機構と、第1昇降アーム25に対する第2昇降アーム26の回動量の半分の回動量で第2昇降アーム26に対してハウジング27を逆方向に回動させる第2リンク機構とを備えている。
請求項（抜粋）：
基板を水平姿勢に支持しつつ昇降させる基板昇降装置において、固定部材と、固定部材に回動可能に支持された第1アームと、第1アームに回動可能に支持された第2アームと、第2アームに回動可能に支持され、基板を下方から水平姿勢に支持する基板支持手段と、固定部材に対して第1アームを回動させる回動駆動手段と、固定部材に対する第1アームの回動に連動させて、その回動量の倍の回動量でその回動方向と逆方向に、第1アームに対して第2アームを回動させる第1リンク機構と、第1アームに対する第2アームの回動に連動させて、その回動量の半分の回動量でその回動方向と逆方向に、第2アームに対して基板支持手段を回動させる第2リンク機構と、を備えることを特徴とする基板昇降装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, G02F 1/13 101
, G11B 7/26
, H01L 21/027
