開口部と周期的に変化する表面形状を有する金属フィルムを利用する光伝送装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：宮崎昭夫 , 金田暢之 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150755
公開番号（公開出願番号）：特開2004-070288
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】強力な光伝送を行う装置を提供する。【解決手段】本装置は第1の表面と第2の表面を有する金属フィルムと、金属フィルムに設けられ第1の表面から第2の表面に連通する少なくとも一つの開口と、金属フィルムの第1および第2の表面の少なくとも一つに設けられた周期的に変化する表面形状とを含む。金属フィルムの一つの表面に入射する光が金属フィルムの少なくとも一つの表面上の表面プラズモンモードと相互作用し、これにより金属フィルムの少なくとも一つの開口を通ずる光伝送を強化する。本装置は単一の開口または複数の周期的に配置された開口を持つことができる。本装置はさらに波長選択光学フィルター、空間光学フィルター、集光器、近接走査光学顕微鏡装置,およびフォトリソグラフィーマスクをも備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1および第2の表面を有する金属フィルムと、前記金属フィルムに設けられ前記第1の表面から前記第2の表面に連通する少なくとも一つの開口と、前記金属フィルムの前記第1および前記第2の表面の少なくとも一つに設けられた周期的に変化する表面形状とを有し、前記金属フィルムの一つの表面に入射する光が前記金属フィルムの少なくとも一つの表面上の表面プラズモンモードと相互作用し、その結果、前記金属フィルムの少なくとも一つの開口を通ずる光伝送を強化することを特徴とする光伝送装置。

IPC (4件)：

G02F1/01 , G02B21/00 , G03F1/08 , H01L21/027

FI (6件)：

G02F1/01 Z , G02B21/00 , G03F1/08 A , G03F1/08 D , H01L21/30 502P , H01L21/30 502D

Fターム (15件)：

2H052AA07 , 2H052AC05 , 2H052AC29 , 2H052AC30 , 2H052AF06 , 2H079AA08 , 2H079BA01 , 2H079BA04 , 2H079CA04 , 2H079CA24 , 2H079DA01 , 2H095BB01 , 2H095BB02 , 5F046BA10 , 5F046CB17

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