画像形成用露光装置とワーク位置決め方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺一豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338984
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180990
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】ワークをワーク載置台上に、反りの有無に関わらず平坦状態で載置することのできると共に、ワークの位置決めを迅速かつ正確に行うことのできる画像形成用露光装置とワーク位置決め方法を提供する。【解決手段】ワークWを、進退自在なワーク載置手段4の圧力動作機構15でワーク載置台5上に押し付けると共に、真空吸着機構7によってワークWをワーク載置台5上に平坦状に吸着固定した後、進退自在な第一撮像器33でワークWを撮影し、そのワーク撮像A1と基準像A2とを合致させて仮位置決めを行った後、マスクMの投影マークM1を基準として本位置決めを行う。

請求項（抜粋）：

ワーク(W) の表面に投影露光する画像形成用露光装置であって、紫外線を含む光線を照射する光源装置(1) と、該光源装置(1) からの光線をマスク(M) を介して前記ワーク(W) 表面に結像させる光学系(2) と、前記ワーク(W) 表面への照射光線を紫外光線と可視光線とに切り替える透光板(3) と、前記ワーク(W) を着脱自在に順次載置するワーク載置台(5) を有するワーク載置手段(4) と、前記ワーク(W) をワーク載置台(5) と一緒に予め設定された基準位置に水平移動させる位置決め手段(31)とを備え、前記ワーク載置手段(4) は、前記ワーク(W) をワーク載置台(5) 上に吸着固定する真空吸着機構(7) と、前記ワーク載置台(5) 上のワーク(W)上面に押下げ力を作用させる圧力動作機構(15)と、前記ワーク載置台(5) 上に吸着保持されているワーク(W) の平坦程度を検出すると共に、該ワーク(W) 上面を結像位置に昇降移動させる平坦度検出機構(26)とから成り、前記位置決め手段(31)は、前記ワーク載置台(5) の上方に出入りして、該ワーク載置台(5) 上に保持されたワーク(W) を撮像する少なくとも一台の撮像器を有する構成とした画像形成用露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/30 520 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 H , H01L 21/68 F , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 515 G

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