光検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：玉蟲久五郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-035692
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206498
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】本発明は数psecまたはそれ以下のパルス幅の光信号を高速に検出するための広帯域の光検出器に関するものである。特にコヒーレント通信やエルビウムドープファイバアンプで増幅された光を受信するような、光の強度の大きな領域でも高周波特性が劣化しないことを要求される分野に適した1.3 μm乃至1.5 μm帯の波長に応答可能な広帯域な光伝導型光検出器を実現することを目的とする。【構成】本発明は半絶縁性のGaAs基板(1)上に、GaAs層(2)と、GaAsよりも小さなバンドギャップを有する半導体層(3)とを交互に積層した超格子構造において、前記超格子構造上に、一対の電極(4,5)を配置するとともに、前記GaAs層(2)はAsの微結晶を含有することを特徴とする光検出器としての構成を有するものである。

請求項（抜粋）：

半絶縁性のGaAs基板上に、GaAs層と、GaAsよりも小さなバンドギャップを有する半導体層とを交互に積層した超格子構造において、前記超格子構造上に、一対の電極を配置するとともに、前記GaAs層はAsの微結晶を含有することを特徴とする光検出器。

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