特許

J-GLOBAL ID：200903090596964251

研磨材物品及びその製造方法

発明者： ピサカネ,フエルデイナンド・エフ ,  ルオ,エリク
出願人/特許権者： フオーメクス・アジア・カンパニー・リミテツド
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-533253
公開番号（公開出願番号）：特表2002-504439
出願日： 1999年02月25日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】本発明は研摩材物品に関する。本発明の研摩材物品は、研磨材層、研磨材層に接合されたポリウレタン膜構造物及びポリウレタン膜構造物に接合された基材を含む。本発明は、また、上記研摩材物品を製造する方法も含む。

請求項（抜粋）：

研磨材層、研磨材層に接合されたポリウレタン膜構造物及びポリウレタン膜構造物に接合された基材を含んでなり、脱イオン水に浸漬した場合、この研摩材物品が、この構造物の一平方メートル当たり約36.0×106個以下の約0.5μm以上のサイズの粒子及び約2.5ppm以下の塩化物、フッ化物、ナトリウム、硫酸塩、亜硫酸塩、あるいはケイ素イオンを放出する研摩材物品。

IPC (3件)：

B24D 11/00 ,  B24B 29/00 ,  B24D 11/02

FI (3件)：

B24D 11/00 D ,  B24B 29/00 N ,  B24D 11/02

Fターム (23件)：

3C058AC05 ,  3C058CA06 ,  3C058CA07 ,  3C058CB06 ,  3C058DA02 ,  3C058DA16 ,  3C058DA17 ,  3C063AA02 ,  3C063AB07 ,  3C063BA15 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BE00 ,  3C063BF00 ,  3C063BF02 ,  3C063BF04 ,  3C063BG01 ,  3C063BG08 ,  3C063BH07 ,  3C063EE10 ,  3C063EE40 ,  3C063FF30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-220838
  
• 研摩材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-038623   出願人：西村宏一
• 研磨シートおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-282677   出願人：株式会社コバックス