ターボ分子ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川井隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087883
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283087
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ロータ翼とステータ翼の、吸気口側のブレード面よりも排気口側のブレードから脱離する気体分子の最大確率速度を速め、排気速度を上げる。【解決手段】ロータ翼とステータ翼の、ブレード310を、ヒータ313と断熱材312とを、2つの金属材料部材311、314で挟み込むことによって構成する。この際、ヒータ313を断熱材312の排気口側の面に隣接して固着する。ヒータ313に通電することで、排気口側の金属材料部材314が加熱され、吸気口側の金属材料部材311は、断熱材312により、非加熱状態になる。この温度差により排気が促進される。

請求項（抜粋）：

モータにより回転されるロータ本体と、このロータ本体の回転軸方向に複数段、配設され、前記ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のロータブレードが設けられたロータ翼と、前記ロータ本体の回転軸方向において、ロータ翼の間に、複数段、固定配設され、かつ、前記ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のステータブレードが設けられたステータ翼と、前記ロータブレード及び前記ステータブレードの少なくとも一方に対しポンプの排気方向側の少なくとも一部の面の温度を上昇させる温度上昇手段と、を具備することを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 , F04D 29/38 , F04D 29/54

FI (6件)：

F04D 19/04 E , F04D 19/04 D , F04D 19/04 F , F04D 19/04 G , F04D 29/38 C , F04D 29/54 F

Fターム (44件)：

3H031DA01 , 3H031DA02 , 3H031DA07 , 3H031EA00 , 3H031EA01 , 3H031EA02 , 3H031EA06 , 3H031EA11 , 3H031FA01 , 3H031FA03 , 3H031FA34 , 3H031FA35 , 3H033AA02 , 3H033AA11 , 3H033BB01 , 3H033BB08 , 3H033BB19 , 3H033CC01 , 3H033CC03 , 3H033DD06 , 3H033DD25 , 3H033DD26 , 3H033DD29 , 3H033EE03 , 3H033EE10 , 3H033EE11 , 3H033EE15 , 3H033EE19 , 3H034AA02 , 3H034AA11 , 3H034BB01 , 3H034BB08 , 3H034CC01 , 3H034CC03 , 3H034DD07 , 3H034DD22 , 3H034DD24 , 3H034DD28 , 3H034EE02 , 3H034EE10 , 3H034EE11 , 3H034EE12 , 3H034EE15 , 3H034EE18

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平4-370394

審査官引用 (2件)

特開平4-370394
特開平4-370394

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