特許

J-GLOBAL ID：200903090599626110

基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者： 溝崎 健吾
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348669
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192992
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 構造簡単かつ小型化可能にして、大型基板の搬送をレジスト塗布現像装置と露光装置との間で相互にかつ円滑に行うと共に、基板を除電しつつ、基板の汚染防止と静電破壊防止及び歩留りの向上を図れるようにした基板搬送装置と基板搬送方法【構成】 基板Gにレジストを塗布しかつ露光処理された基板Gを現像処理する処理部6と、レジストが塗布された基板Gを露光処理する露光装置9との間で基板Gを相互に搬送するための基板搬送装置であって、上記露光装置9の基板搬出入部近傍に設けられた受渡用載置部80と、この受渡用載置部80を介して上記露光装置9内の基板搬送機構と相互に基板Gの受け渡しを行うと共に、上記処理部6内の搬送機構65と相互に基板Gの受け渡しを行う、搬送用メインアーム59とを具備し、上記受渡用載置部80に、基板Gに蓄積した電荷を除去するための除電手段である導線52と抵抗器53とが設けられていることを特徴とする基板搬送装置。

請求項（抜粋）：

基板にレジストを塗布しかつ露光処理された基板を現像処理するレジスト塗布現像装置と、レジストが塗布された基板を露光処理する露光装置との間で基板を相互に搬送するための基板搬送装置であって、上記露光装置の基板搬出入部近傍に設けられた受渡用載置部と、この受渡用載置部を介して上記露光装置内の基板搬送機構と相互に基板の受け渡しを行うと共に、上記レジスト塗布現像装置内の基板搬送機構と相互に基板の受け渡しを行う、受渡用搬送アームとを具備し、上記受渡用載置部に、基板に蓄積した電荷を除去するための除電手段が設けられていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68