特許
J-GLOBAL ID：200903090600887127
縦型急温度勾配型電気炉
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 尚
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105112
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294585
出願日： 1993年04月06日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 80°C/cmの如く急激な温度勾配が可能な縦型電気炉を提供する。【構成】 縦型電気炉であって内部に炉芯管を有する装置において、上下に2個以上に分割された発熱体部からなる加熱部を有すると共に夫々の加熱部が独立に又は一定の関係で温度制御できるように構成され、更に、電気炉部が高温部と低温部に分割され、かつ高温部の中の片端部に高負荷密度加熱部を有しており、高温部と低温部との間に冷却部が出し入れ可能に設けられていることを特徴とする縦型急温度勾配型電気炉である。前記電気炉部が2個以上の上下別々の電気炉部からなり、夫々の電気炉部間の間隔を可変できる構造にできる。冷却部として空気層又は水冷構造を配置することにより、一層急な温度勾配にできる。単結晶育成炉及び連続型精製装置等に適している。
請求項（抜粋）：
縦型電気炉であって内部に炉芯管を有する装置において、上下に2個以上に分割された発熱体部からなる加熱部を有すると共に夫々の加熱部が独立に又は一定の関係で温度制御できるように構成され、更に、電気炉部が高温部と低温部に分割され、かつ高温部の中の片端部に高負荷密度加熱部を有しており、高温部と低温部との間に冷却部が出し入れ可能に設けられていることを特徴とする縦型急温度勾配型電気炉。
IPC (3件)：
F27B 17/00
, H05B 3/62
, C30B 11/00
