特許
J-GLOBAL ID：200903090605048271
金属蒸着フィルムの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026949
公開番号（公開出願番号）：特開平7-233462
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【構成】プラスチックフイルムからなる基体の表面を、Ti、Pd、Alの中から選択された金属で被覆されたマグネトロン電極を使用し、8×10-1 パスカル以下の圧力および10W・分/m2 以上の処理強度で低温プラズマ処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。【効果】酸素バリア性、および水蒸気バリア性の優れた金属蒸着フィルム安定して、かつ廉価に製造できる。
請求項（抜粋）：
プラスチックフイルムからなる基体の表面を、Ti、Pd、Alの中から選択された金属で被覆されたマグネトロン電極を使用し、8×10-1 パスカル以下の圧力および10W・分/m2 以上の処理強度で低温プラズマ処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。
引用特許：
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