ウエハの分離搬送装置及び分離搬送方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309520
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148278
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】構造が簡単であるとともに、ウエハを一枚ずつ確実に分離させて搬出方向へ搬送することができるウエハの分離搬送装置を提供する。【解決手段】支持部材26により液体12内において多数のウエハ27を積層状態で支持する。支持部材26の上昇により多数のウエハ27を所定量ずつ上昇させて、最上部に位置する一枚のウエハ27を水面121付近の位置に配置する。最上部のウエハに接触して始動する接触子を備えた分離押出手段29を設ける。噴射ノズル60により水面位置のウエハ27の上面に対し、その中心から偏倚した位置に水を噴射して、ウエハ27を一方向に回転させ、最上部のウエハ27を他のウエハ27から分離させる。又、噴射ノズル59により、搬出方向と反対側の斜上方から水を噴射して、最上部のウエハ27の浮き上がりを防止する。分離されたウエハ27を、搬出方向に搬送する。

請求項（抜粋）：

液中において多数のウエハを積層状態で支持するとともに、それらのウエハ群を積層状態のまま上昇させる支持手段と、液面位置に上昇配置された最上部のウエハの上面に対し流体を噴射して、最上部のウエハを他のウエハから分離させる分離手段と、その分離されたウエハを液流を利用して搬出方向へ搬送する搬送手段とを備えたウエハの搬送装置において、前記分離手段は、ウエハに直接接触して該ウエハを移動させる分離押出手段と、ウエハの始動後にウエハの上面に対し、その中心から偏倚した位置に斜上方から流体を噴射して、ウエハを一方向に回転させて他のウエハから分離させる回転手段とからなるものであるウエハの分離搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 311 , B23P 19/00 302 , B65H 3/00 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/304 311 A , B23P 19/00 302 R , B65H 3/00 Z , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

積重ねたウエーハを自動的に個別化する装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-018267 出願人：ワツカー・ケミトロニク・ゲゼルシヤフト・フユア・エレクトロニク・グルントシユトツフエ・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
特開平2-025028

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