高分子混合物の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-172352
公開番号（公開出願番号）：特開2005-007244
出願日： 2003年06月17日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】基板表面に対して垂直に配向したミクロドメイン構造を有する高分子膜を作製する方法を見出し、この方法により混合組成を変えることによってパターンのサイズが制御し得る方法を提供する。【解決手段】(1)少なくとも1nm以上の表面粗さを有する基板上に、少なくとも2種類以上の互いに非相溶な高分子が互いの末端で結合してなるブロック共重合体樹脂であって分子量Mのものを載置し、基板表面に対して垂直に配向したミクロドメイン構造からなるパターンを膜表面に形成し、前記パターンの間隔Lと樹脂の分子量Mの関係を求める工程を含み、(2)所定のサイズのパターンを与えるMを(1)の工程から得られたデータの内挿あるいは外挿から求める工程と、(3)前記のMと平均分子量が等しくなるように2種類以上のブロック共重合体を混合する工程と、(4)前記混合物を所定の表面粗さを有する基板上に載置する工程を含むことを特徴とする、基板表面に対して垂直に配向したミクロドメイン構造を有するブロック共重合体混合物の膜の作製方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(1)少なくとも1nm以上の表面粗さを有する基板上に、少なくとも2種類以上の互いに非相溶な高分子が互いの末端で結合してなるブロック共重合体樹脂であって分子量Mのものを載置し、基板表面に対して垂直に配向したミクロドメイン構造からなるパターンを膜表面に形成し、前記パターンの間隔Lと樹脂の分子量Mの関係を求める工程を含み、(2)所定のサイズのパターンを与えるMを(1)の工程から得られたデータの内挿あるいは外挿から求める工程と、(3)前記のMと平均分子量が等しくなるように2種類以上のブロック共重合体を混合する工程と、(4)前記混合物を所定の表面粗さを有する基板上に載置する工程を含むことを特徴とする、基板表面に対して垂直に配向したミクロドメイン構造を有するブロック共重合体混合物の膜の作製方法。

IPC (4件)：

B01J19/00 , B05D3/00 , G02B5/18 , G02B5/30

FI (4件)：

B01J19/00 K , B05D3/00 D , G02B5/18 , G02B5/30

Fターム (37件)：

2H049AA33 , 2H049AA43 , 2H049AA48 , 2H049BB42 , 2H049BC05 , 4D075BB16X , 4D075BB24Z , 4D075BB91X , 4D075BB91Z , 4D075CA47 , 4D075CB11 , 4D075CB38 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DB53 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EB12 , 4D075EB13 , 4D075EB14 , 4D075EB15 , 4D075EB19 , 4D075EB20 , 4D075EB22 , 4D075EB24 , 4D075EB37 , 4D075EB52 , 4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075AA32 , 4G075DA18 , 4G075FB12

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