特許
J-GLOBAL ID：200903090615038010
NDフィルタの製造方法及びこのNDフィルタを有する光量絞り装置及びカメラ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276783
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117470
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】光量の均一性が向上し、各濃度において分光特性がフラットなグラデーション濃度分布を有するNDフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】プラスチック基板102上に少なくとも2種類以上の膜を成膜してNDフィルタを製造するに際し、最表層以外の膜をグラデーション濃度分布を形成するためにスリット型マスク106を基板と一体的にドーム上を公転させて成膜する一方、最表層の膜をマスク106を用いずに一定膜厚に成膜する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも2種類以上の膜を成膜してNDフィルタを製造するに際し、最表層以外の膜をグラデーション濃度分布を形成するためにノコギリ歯型の形状のスリット型マスクを前記基板と一体的に公転させて成膜する工程と、最表層の膜を前記マスクを用いずに成膜する工程とを有することを特徴とするNDフィルタの製造方法。
IPC (3件)：
G02B5/00
, G03B9/02
, G03B11/00
G02B5/00 A
, G03B9/02 A
, G03B11/00
2H042AA08
, 2H042AA22
, 2H042DA08
, 2H042DA11
, 2H042DC02
, 2H080AA20
, 2H080AA31
, 2H080DD01
, 2H083AA05
, 2H083AA25
, 2H083AA26
, 2H083AA50
