特許

J-GLOBAL ID：200903090621420229

撥水性の物品および撥水性の薄膜の被覆方法

発明者： 豊島 隆之
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111832
公開番号（公開出願番号）：特開2001-295039
出願日： 2000年04月13日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】物品の表面の撥水性と反射率の低減化の両機能を同時に有する単層からなる薄膜は従来なかった。また、摩耗に強い撥水性能を有する撥水性の薄膜の出現が望まれていた。【解決手段】ガラス板上に、フッ素を含有する撥水性の薄膜を被覆した物品であって、撥水性の薄膜は、スパッタリングにより被覆した二酸化珪素膜にフッ素をフッ素化合物ガスからのドーピングにより含有させる。フッ化エチレンなどのフッ素化合物ガスを二酸化珪素膜の被覆中に成膜室に導入する。二酸化珪素単一成分の膜より、屈折率がさらに小さく、かつ撥水性が付与された薄膜が被覆できる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に撥水性の薄膜が被覆された物品であって、前記薄膜は、前記透明基板の屈折率よりも小さい屈折率を有し、かつフッ素を含有する透明酸化物の膜である撥水性の物品。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/10

FI (6件)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/34 M ,  B32B 9/00 A ,  B32B 17/06 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/10

Fターム (34件)：

4F100AA20B ,  4F100AG00A ,  4F100AR00A ,  4F100AR00B ,  4F100BA02 ,  4F100EH662 ,  4F100EJ582 ,  4F100JB06B ,  4F100JK09 ,  4F100JN01A ,  4F100JN18B ,  4F100YY00B ,  4G059AA01 ,  4G059AA11 ,  4G059AC04 ,  4G059AC09 ,  4G059AC22 ,  4G059EA05 ,  4G059EA09 ,  4G059EA18 ,  4G059EB04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029BA32 ,  4K029BA46 ,  4K029BC00 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC29 ,  4K029EA05 ,  4K029KA01