特許
J-GLOBAL ID：200903090622872026
表面観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-156072
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322512
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 温度変化や機械的ドリフトの影響に関わらず試料表面の観察を安定して行うことのできる表面観察方法を提供することを目的とする。【構成】 試料3の表面を探針1で走査して、試料3から受ける物理量により探針1を制御し、この制御量により試料3表面を観察する方法において、前記試料3表面にあらかじめ形成した凹凸部を凹凸検出装置5により検出し、この凹凸部を基準として前記走査位置制御を行う。
請求項（抜粋）：
試料面を探針で走査し、試料面から受ける物理量により探針を制御し、この制御量により試料面を観察する方法において、前記試料面にあらかじめ凹凸部を形成し、この凹凸部を基準として前記走査位置制御を行うことを特徴とする表面観察方法。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, G01N 27/72
, H01J 37/28
