特許

J-GLOBAL ID：200903090623178930

ホログラフィ技術を利用した転写方法及び装置

発明者： 後藤 明弘 ,  玄間 隆志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097993
公開番号（公開出願番号）：特開平7-281584
出願日： 1994年04月11日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 ホログラフィ技術を利用して多重パターンの転写に適した転写方法と装置を提供すること、並びにこの方法並びに装置の実施に必要な部材を提供することを目的とする。【構成】 マスクパターンからの物体光と参照光との干渉によりホログラム記録媒体にホログラムを記録する際に、同一のホログラム記録媒体に複数のマスク原版から夫々異なる記録条件で複数のホログラムを記録させ、これらのホログラムに再生光を照射してマスクパターンの像を感光基板上に再生して転写する際に、一つのホログラム記録媒体に記録された複数のホログラムを夫々異なる再生条件で個別に再生することを特徴とするホログラフィ技術を利用した転写方法。

請求項（抜粋）：

マスク原版に形成されたマスクパターンからの物体光と参照光との干渉によりホログラム記録媒体にホログラムを記録した後、このホログラムに前記物体光と共役な再生光を照射する事により、前記ホログラムからマスクパターンの像を感光基板上に再生して転写するホログラフィ技術を利用した転写方法において、同一のホログラム記録媒体に複数のマスク原版から夫々異なる記録条件で複数のホログラムを記録させるホログラム記録工程と、前記一つのホログラム記録媒体に記録された複数のホログラムを夫々異なる再生条件で個別に再生する再生工程と、を有することを特徴とするホログラフィ技術を利用した転写方法。