特許
J-GLOBAL ID：200903090628171194
板状の被検査体の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182449
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102476
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【課題】本発明は検査機構によって検査前の被検査体を実際に検査している時間に比べて検査機構の待機時間の比率を低減することができ、単位時間当りの被検査体の検査処理枚数を多くすることを目的とする。【解決手段】LCD基板の点灯検査システムに組込まれたプローブ装置1は、収納部2と、処理部3と、収納部2と処理部3との間に介設された搬送部4とを有する。処理部3の検査領域21には、プローブカード43を有する検査機構20が配設される。検査領域21を挟むように左右アライメント領域22a、22bが配置され、それぞれにLCD基板STを載せる載置台31a、31bが配設される。コントローラ51により載置台31a、31bの移動が制御され、載置台31a、31b上のLCD基板STの検査が、検査領域21で交互に行われる。
請求項（抜粋）：
検査領域に配設された、板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記検査領域を挟んで配置された、前記被検査体の第1および第2アライメント領域と、前記被検査体が着脱可能に載置される第1および第2載置台と、前記第1および第2載置台を水平面内で移動させるための載置台移動手段と、前記移動手段により、前記第1載置台が前記第1アライメント領域と前記検査領域との間を移動可能であるとともに、前記第2載置台は前記第2アライメント領域と前記検査領域との間を移動可能であることと、前記移動手段を操作するための制御手段と、前記制御手段は、前記検査機構による前記第1および第2載置台上の前記被検査体の検査が、前記検査領域で交互に行われるように、前記移動手段を操作することと、を具備することを特徴とする板状の被検査体の検査装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/00
, G01R 31/26
, G01R 31/28
