特許

J-GLOBAL ID：200903090633894960

同軸形のマイクロ波プラズマ発生器

発明者： 杉山 和夫 ,  工藤 稔 ,  谷山 記一
出願人/特許権者： 杉山 和夫 ,  ミクロ電子株式会社
代理人 (1件)： 小池 寛治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354868
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188094
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 マイクロ波プラズマ発生器を同軸形として構成し、マイクロ波プラズマ発生器の小形化を図ることを目的とする。【構成】 外体51内に内部導体57を備えた同軸形共振器50を設けると共に、内部導体57の長さを(λ/2).n+(λ/4)に設定する。この同軸形共振器50に同軸モ-ドに変換したマイクロ波を伝送して内部導体57の先端よりプラズマを発生させる構成としてある。

請求項（抜粋）：

外体内に内部導体を備えた同軸形共振器を設けると共に、内部導体の長さを(λ/2).n+(λ/4)に設定し、上記同軸形共振器に同軸モ-ドに変換したマイクロ波を伝送して上記内部導体の先端部分に高電界を生じさせプラズマを発生させる構成とした同軸形のマイクロ波プラズマ発生器。